| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09260667(A) |
申请公布日期 |
1997.10.03 |
| 申请号 |
JP19960062950 |
申请日期 |
1996.03.19 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KAKEHI TATSUYA;MISHIMA YASUYOSHI;MATSUMOTO NORIHISA;OHORI TATSUYA |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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