发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09260586(A) |
申请公布日期 |
1997.10.03 |
申请号 |
JP19960066813 |
申请日期 |
1996.03.22 |
申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
TANAKA YUKIMOTO;TSUGE ATSUKO;TAKIYAMA MASANORI;OKAYAMA SATOSHI;HIKI HIDEKAZU |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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