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发明名称 COOLING SYSTEM OF SEMICONDUCTOR ION INJECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0161631(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950052901 申请日期 1995.12.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, YONG-BAE;CHO, YEUN-HA;KIM, YONG-BUM
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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