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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11204475(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980007660 申请日期 1998.01.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MOTAI TAKAKO;EGUCHI KAZUHIRO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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