发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1092922(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960239529 申请日期 1996.09.10
申请人 SONY CORP 发明人 NAGASHIMA NAOKI
分类号 H01L21/762;H01L21/205;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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