| 发明名称 |
LARGE SAMPLE SCANNING MECHANISM IN SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10142239(A) |
申请公布日期 |
1998.05.29 |
| 申请号 |
JP19960337758 |
申请日期 |
1996.11.08 |
| 申请人 |
HITACHI CONSTR MACH CO LTD |
发明人 |
MURAYAMA TAKESHI |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q30/20;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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