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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR EVALUATING IMPURITY IN AIR
摘要
申请公布号 JPH1144619(A) 申请公布日期 1999.02.16
申请号 JP19970201528 申请日期 1997.07.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIMAZAKI AYAKO
分类号 G01N1/22;G01N30/00;G01N30/08;G01N30/72;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/22 主分类号 G01N1/22
代理机构 代理人
主权项
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