| 摘要 |
本発明の元素分析装置は、真空容器と、該真空容器内に配置された焦電結晶と、該焦電結晶の温度を変化させる温度変化手段と、前記焦電結晶の分極面の一方を覆う、該焦電結晶に比べて低い誘電率を有する絶縁体部材と、前記焦電結晶の一方の分極面に立設された、前記絶縁体部材から突出する突出端を有する導電性の針と、前記真空容器内に配置された試料台と、試料台に載置された試料から放出される特性Ｘ線を検出するＸ線検出手段とを有する。試料台は、前記針の突出端の延長線と交差する試料載置面を有すると共に、該焦電結晶の他方の分極面と電気的に接続され、かつ、接地されている。 |
