发明名称 DEVICE FOR TRANSFERRING WAFER OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING UNIT
摘要
申请公布号 KR200184263(Y1) 申请公布日期 2000.06.01
申请号 KR19990030650U 申请日期 1999.12.31
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR.,LTD. 发明人 LEE, GEUN HWA
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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