光阻用显像液

摘要

本发明系提供一种适用于具有形成于晶圆之铝基体上所形成之光阻显像液的新颖光阻用显像液者。含有硷组分、含钙化合物及螯合剂之光阻显像液者，该螯合剂为选自1-羟基亚乙基-1，1-二膦酸、胺基三亚甲基膦酸、2-磷丁烷-1，2，4-三羧酸、乙烯二胺基四亚甲基膦酸、二乙烯三胺基五亚甲基膦酸、六亚甲基二胺基四亚甲基膦酸、以及二乙烯三胺基五(亚甲基膦酸)所成群中之光阻用显像液。