| 摘要 |
本发明系关于周期性结构中局部误差之光学检知方法，利用光学探测系统为之，其结构具有在一周期内重复之至少一样本，至少探测系统利用分段检知。按照本发明拟议，将在一周期中至少一标的段之原值，与另一周期中相对应段之至少二原值比较，确定所观察原值之中间值，在映像中设定为与标的段相对应周期性结构段之数值，在映像中设定为与标的段相对应周期性结构段之数值，由映像和原值构成差异图像，或者确定所观察原值之中间值，以中间值与标的段原值间之差异值，设定为周期性结构之一差异图像内的相关段数值，且采用至少差异图像以确定局部误差。 |
