| 发明名称 | 基板检查装置的基板支架和基板检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板检查装置的基板支架和基板检查装置。基板检查装置具有保持基板(W)的基板支架(6)。在基板支架(6)中，从安装于多关节自动装置(8)的基部(7)使多个支撑臂部(10)平行且等间隔地延伸设置，从而整体成为梳齿状。在各支撑臂部(10)的上表面(10a)上配设有用于吸附保持基板(W)的吸附部(12)。另外，横档(15)分别安装于支撑臂部(10)的基端部(11a)侧和前端部(11b)侧，在外侧的支撑臂部(10)的外侧面上安装有支撑横档(17)，通过这些横档(15、17)能够保持基板(W)的侧缘。 | ||
| 申请公布号 | CN101027547A | 申请公布日期 | 2007.08.29 |
| 申请号 | CN200580032201.9 | 申请日期 | 2005.09.26 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 冈平裕幸 |
| 分类号 | G01N21/84(2006.01);G01M11/00(2006.01);G02F1/13(2006.01);B65G49/06(2006.01) | 主分类号 | G01N21/84(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 1、一种基板检查装置的基板支架，其安装于驱动部的前端部，并在保持有基板的状态下使所述基板移动，其特征在于，所述基板检查装置的基板支架包括：与所述驱动部连接的基部；从所述基部呈梳齿状平行地延伸设置的多个支撑部；以及在所述支撑部上吸附保持所述基板的吸附部，所述多个支撑部具有保持所述基板的强度。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||