| 发明名称 |
RECIRCULATION SUBSTRATE CONTAINER PURGING SYSTEMS AND METHODS |
| 摘要 |
본 발명은 반도체 기판의 용기에 대한 퍼지 가스의 소비를 감소하기 한 방법 및 시스템에 관한 것이다. 재순환 퍼지 시스템은 기판 용기로부터의 가스 흐름을 여과 및 정제, 로드 포트로부터의 가스 흐름을 수용, 또는 재순환 탱크를 포함하는것에 의해 기판 용기로 다시 퍼지 가스를 재순환한다. |
| 申请公布号 |
KR20160098327(A) |
申请公布日期 |
2016.08.18 |
| 申请号 |
KR20167018374 |
申请日期 |
2014.12.13 |
| 申请人 |
BROOKS CCS GMBH;REBSTOCK LUTZ |
发明人 |
REBSTOCK LUTZ |
| 分类号 |
H01L21/673;B08B9/032;H01L21/02;H01L21/67;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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