发明名称 PRODUCTION OF THIN FILMY SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03159914(A) 申请公布日期 1991.07.09
申请号 JP19890300516 申请日期 1989.11.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YOSHIDA MASARU;ICHIKAWA HIROSHI;ADACHI HIDEAKI;MITSUYU TSUNEO
分类号 C01G29/00;C01G1/00;C23C14/06;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01G29/00
代理机构 代理人
主权项
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