| 摘要 |
Ｘ方向及びＹ方向に移動可能に設けられた第一ロボット（２０）と、第一ロボット（２０）に対してＺ方向に異なる位置において、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能に設けられた第二ロボット（５０）と、第二ロボット（５０）に取り付けられた作業装置（６０）に設けられた検査マーク（６１）と、第一ロボット（２０）に設けられた撮像装置（４０）と、撮像装置（４０）によって撮像された基準マークに基づいて、第一ロボット送り誤差を検出する第一ロボット送り誤差検出手段と、第一ロボット（２０）及び第二ロボット（５０）を、検査位置に移動させ、当該検査位置において撮像装置（４０）によって撮像された検査マーク（６１）に基づいて、第一ロボット（２０）と第二ロボット（５０）の相対位置誤差を検出する相対位置検出手段と、第一ロボット送り誤差及び相対位置誤差に基づいて、第二ロボット送り誤差を検出する第二ロボット送り誤差検出手段と、を有する。 |
