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经营范围
发明名称
ION IMPLANTER
摘要
申请公布号
JPH03163735(A)
申请公布日期
1991.07.15
申请号
JP19890301366
申请日期
1989.11.20
申请人
SONY CORP
发明人
TAJIMA KAZUHIRO;KIMURA HIDEKI
分类号
H01J27/20;H01L21/265
主分类号
H01J27/20
代理机构
代理人
主权项
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