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发明名称 System and method for delivery of a vapor phase product to a point of use
摘要
申请公布号 EP0949470(A3) 申请公布日期 1999.12.29
申请号 EP19990400833 申请日期 1999.04.06
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 PAGANESSI, JOSEPH E.;JURCIK, BENJAMIN J.;UDISCHAS, RICHARD;WANG, HWA-CHI;YOKOGI, KAZUO;TOMITA, SHINJI
分类号 F25J3/00;B01J4/00;F17C7/04;F25J3/08;(IPC1-7):F25J3/02 主分类号 F25J3/00
代理机构 代理人
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