发明名称 DEVICE FOR MEASURING LENGTH ACCORDING TO THE DOUBLE-GAP LASER INTERFEROMETER PRINCIPLE
摘要
申请公布号 EP0135000(B1) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 EP19840108100 申请日期 1984.07.11
申请人 DIMETEC GMBH & CO. KG 发明人 ROETH, RUDOLF MANFRED;WERCKMEISTER, CLAUS
分类号 G01B9/02;G01B5/00;G01B11/00;G01B11/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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