发明名称 |
DEVICE FOR MEASURING LENGTH ACCORDING TO THE DOUBLE-GAP LASER INTERFEROMETER PRINCIPLE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0135000(B1) |
申请公布日期 |
1990.09.12 |
申请号 |
EP19840108100 |
申请日期 |
1984.07.11 |
申请人 |
DIMETEC GMBH & CO. KG |
发明人 |
ROETH, RUDOLF MANFRED;WERCKMEISTER, CLAUS |
分类号 |
G01B9/02;G01B5/00;G01B11/00;G01B11/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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