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发明名称 METHOD FOR HEATING SUBSTRATE OF FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0637018(A) 申请公布日期 1994.02.10
申请号 JP19920186763 申请日期 1992.07.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKUMURA TOMOHIRO;YAMADA YUICHIRO;HOUCHIN RIYUUZOU;ISHIO HIROAKI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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