发明名称 ATOMIC FORCE MICROSCOPE AND METHOD FOR BRINGING PROBE CLOSE IN THE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH11248723(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980064303 申请日期 1998.02.27
申请人 NIKON CORP 发明人 SUZUKI YOSHIHIKO
分类号 G01K1/14;G01B21/30;G01K7/02;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q60/00;G01Q60/24;G01Q60/32;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01K1/14
代理机构 代理人
主权项
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