低温泵及真空排气方法

摘要

本发明提供一种能够高速排出非冷凝性气体的低温泵、低温板结构及真空排气方法。本发明的低温泵（1）具备：吸附低温板（2），具备接收非冷凝性气体的入射的前表面（4）和具备非冷凝性气体的吸附区域的背面（5）；以及反射低温板（3），具备与背面（5）对置的非冷凝性气体的反射面（7）。吸附低温板（2）可以具有多个从前表面（4）贯穿至背面（5）的贯穿孔（6）。吸附低温板（2）可以具有10%以上70%以下的非冷凝性气体的通过概率。

主权项

一种低温泵，其特征在于，具备：多个低温板的排列，包括吸附低温板及反射低温板，所述吸附低温板具备接收非冷凝性气体的入射的前表面、具备非冷凝性气体的吸附区域的背面以及多个从所述前表面贯穿至所述背面的孔，所述反射低温板具备与所述背面对置的非冷凝性气体的反射面，放射屏蔽件，包围所述多个低温板的排列；制冷机，被构成为将所述放射屏蔽件冷却至第1冷却温度，且将所述多个低温板的排列冷却至低于所述第1冷却温度的第2冷却温度，所述吸附低温板在所述多个低温板的排列中最靠近低温泵吸气口，所述前表面朝向所述低温泵吸气口。