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发明名称 PLASMA ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08107102(A) 申请公布日期 1996.04.23
申请号 JP19940239822 申请日期 1994.10.04
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 UEDA YOICHI;HAYATA HIDENORI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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