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发明名称 PLASMA GENERATING ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH11251093(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980048028 申请日期 1998.02.27
申请人 KYOCERA CORP 发明人 MATSUNAGA FUMIO
分类号 H05H1/46;C01B31/06;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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