发明名称 Verfahren zur Messung der Schichtdicke der fuer einen hohen spezifischen Widerstand ausgelegten Schicht eines Halbleiterplaettchens
摘要
申请公布号 DE1673879(A1) 申请公布日期 1971.10.28
申请号 DE19681673879 申请日期 1968.01.29
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO.LTD. 发明人 ABE,TOSHIO;NISHI,YOSHIO;GOTO,KENICHI
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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