发明名称 |
输送机构、输送装置及真空处理装置 |
摘要 |
提供一种可防止由粉尘引起输送对象物的污染、能将输送对象物输送到正确的位置的输送装置。本发明由第一及第二平行四边形联动装置(13、14)构成。第二平行四边形联动装置(14)利用第一平行四边形联动装置(13)的连杆(10)而构成,4条边的长度相等,并沿着线性导向件(12a)直线地伸缩。在第一及第二平行四边形联动装置(13、14)的共有的连杆(10)的两端的支点(7c、9c)处,第一平行四边形联动装置(13)的连杆(7a、9a)和第二平行四边形联动装置(14)的连杆(7b、9b)分别在被约束为90°的状态下旋转。在第一平行四边形联动装置(13)的与连杆(10)对置的连杆(8b)的端部的支点(2)处设置有臂(8a),所述臂(8a)构成为在相对连杆(8b)被约束为90°的状态下旋转。 |
申请公布号 |
CN101262985A |
申请公布日期 |
2008.09.10 |
申请号 |
CN200680033889.7 |
申请日期 |
2006.09.19 |
申请人 |
株式会社爱发科;株式会社SOWAMD中心 |
发明人 |
南展史;藤村和广 |
分类号 |
B25J9/06(2006.01);H01L21/677(2006.01);B65G49/07(2006.01) |
主分类号 |
B25J9/06(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
温大鹏 |
主权项 |
1、一种输送机构,其特征在于,具有第一连杆机构和第二连杆机构,所述第一连杆机构由平行四边形连杆机构构成,所述第二连杆机构由共有前述第一连杆机构的既定连杆的共有连杆、与长度和该共有连杆相等的连杆构成,且能够沿既定方向直线地伸缩;在前述共有连杆的至少一端部的支点处,构成前述第一连杆机构的第一约束连杆和构成前述第二连杆机构的第二约束连杆构成为在被约束为既定角度的状态下旋转,前述第一连杆机构中,在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件,所述输送用腕部件构成为在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转。 |
地址 |
日本神奈川县 |