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发明名称
Contact plug of semiconductor device and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号
KR100939411(B1)
申请公布日期
2010.01.28
申请号
KR20080008954
申请日期
2008.01.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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