发明名称 Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauteilen
摘要 Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauteils mit einem Halbleitersubstrat (1) und einer darauf anzubringenden Metallelektrode (4; 6, 7, 8), sowie mit einem gegenüber Metallablagerungen empfindlichen Bereich wobei man auf jeder der Hauptflächen des Halbleitersubstrats (1) eine Metallelektrode (4; 6, 7, 8) anbringt und an einer der Hauptflächen des Halbleitersubstrats wenigstens eine Anreisslinie bildet und mit einer Isolierschicht (11) abdeckt, dadurch gekennzeichnet, dass man auch eine Seitenfläche des Halbleitersubstrats (1) mit der Isolatorschicht (11) abdeckt und anschließend nur die Metallelektrode (4) auf dieser einen Hauptfläche mit einem Metall einer anderen Art als dem der Metallelektrode durch stromloses Plattieren überdeckt.
申请公布号 DE102004027176(B4) 申请公布日期 2016.11.03
申请号 DE20041027176 申请日期 2004.06.03
申请人 Fuji Electric Co., Ltd. 发明人 Momota, Seiji;Mochizuki, Eiji
分类号 H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/329;H01L23/52;H01L29/06;H01L29/417;H01L29/861 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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