| 主权项 |
1.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位多晶相之预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具有小于或等于100奈米的最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;及热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状的物理气相沉积标的物,其具有至少95%最大理论密度之密度及小于或等于1.0微米之主要最大颗粒大小。2.如申请专利范围第1项之方法,其中粉末包含至少90%的预反应铁电粒子,其具有小于或等于100奈米的最大直线性因次。3.如申请专利范围第1项之方法,其中粉末包含至少98%的预反应铁电粒子,其具有小于或等于100奈米的最大直线性因次。4.如申请专利范围第1项之方法,其中粉末包含0%至10%之经黏聚个别粒子,任何经黏聚粒子具有小于100微米之最大直线性因次。5.如申请专利范围第1项之方法,其中粉末主要包含预反应铁电粒子,其具有10奈米至50奈米的最大直线性因次。6.如申请专利范围第1项之方法,其中粉末包含至少90%的预反应铁电粒子,其具有10奈米至50奈米的最大直线性因次。7.如申请专利范围第1项之方法,其中实施热压而形成标的物,使其至少90%的颗粒具有之最大尺寸是小于或等于1.0微米。8.如申请专利范围第1项之方法,其中实施热压而形成标的物,使其至少90%的颗粒具有0.3微米至0.75微米之最大尺寸。9.如申请专利范围第1项之方法,包含热压而产生物理气相沉积标的物,使其具有至少99%最大理论密度之密度。10.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具有小于或等于100奈米的最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状的物理气相沉积标的物,其具有至少95%最大理论密度之密度及小于或等于1.0微米之主要最大颗粒大小;及其中预反应铁电粉末包含(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3,其中x是0.3至0.7,y是0.05至0.15,而z是0.0至0.05。11.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具有小于或等于100奈米的最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状的物理气相沉积标的物,其具有至少95%最大理论密度之密度及小于或等于1.0微米之主要最大颗粒大小;及其中预反应铁电粉末包含(Srl+yBi2+z)(Tal-xNbx)2O9,其中x是0.0至1.0,y是-0.5至0.5,而z是0.0至0.8。12.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具有小于或等于100奈米的最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状的物理气相沉积标的物,其具有至少95%最大理论密度之密度及小于或等于1.0微米之主要最大颗粒大小;及其中预反应铁电粉末包含(Srl+yBi2+z)(Tal-xNbx)O9,其中x是0.3至0.7,y是-0.3至0.3,而z是0.3至0.6。13.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位多晶相之预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应之铁电粉末主要包含具有10奈米至50奈米的最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;及热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状的物理气相沉积标的物,其具有至少99%最大理论密度之密度及其至少90%的颗粒具有小于或等于1.0微米之最大尺寸。14.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应之铁电粉末主要包含具有10奈米至50奈米的最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状的物理气相沉积标的物,其具有至少99%最大理论密度之密度及其至少90%的颗粒具有小于或等于1.0微米之最大尺寸;及其中预反应铁电粉末包含(Bal-xSrx)TiO3,其中x是0.0至1.0。15.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应之铁电粉末主要包含具有10奈米至50奈米的最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状的物理气相沉积标的物,其具有至少99%最大理论密度之密度及其至少90%的颗粒具有小于或等于1.0微米之最大尺寸;及其中预反应铁电粉末包含(Bal-xSrx)TiO3,其中x是0.3至0.7。16.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应之铁电粉末主要包含具有10奈米至50奈米的最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状的物理气相沉积标的物,其具有至少99%最大理论密度之密度及其至少90%的颗粒具有小于或等于1.0微米之最大尺寸;及其中预反应铁电粉末包含(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3,其中x是0.3至0.7,y是0.05至0.15,而z是0.0至0.05。17.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应之铁电粉末主要包含具有10奈米至50奈米的最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状的物理气相沉积标的物,其具有至少99%最大理论密度之密度及其至少90%的颗粒具有小于或等于1.0微米之最大尺寸;及其中预反应铁电粉末包含(Srl+yBi2+z)(Tal-xNbx)2O9,其中x是0.0至1.0,y是-0.5至0.5,而z是0.0至0.8。18.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应之铁电粉末主要包含具有10奈米至50奈米的最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状的物理气相沉积标的物,其具有至少99%最大理论密度之密度及其至少90%的颗粒具有小于或等于1.0微米之最大尺寸;及其中预反应铁电粉末包含(Srl+yBi2+z)(Tal-xNbx)2O9,其中x是0.3至0.7,y是-0.3至0.3,而z是0.3至0.6。19.如申请专利范围第13项之方法,其中粉末包含至少90%的预反应铁电粒子,其具有10奈米至50奈米之最大直线性因次。20.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位多晶相之预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具有小于或等于100奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;及在最大压制温度下,热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,此最大压制温度是至少200℃,其低于热压相同粉末(但此粉末在相同压力下且历同等时间具有至少1.0微米的主要粒子大小最大直线性因次)而产生具有至少85%最大理论密度之第一密度之标的物时可能需要之温度,及在较低压制温度下获得大于第一密度之标的物密度。21.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具有小于或等于100奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;在最大压制温度下,热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,此最大压制温度是至少200℃,其低于热压相同粉末(但此粉末在相同压力下且历同等时间具有至少1.0微米的主要粒子大小最大直线性因次)而产生具有至少85%最大理论密度之第一密度之标的物时可能需要之温度,及在较低压制温度下获得大于第一密度之标的物密度;及其中预反应铁电粉末包含(Bal-xSrx)TiO3,其中x是0.0至1.0而最大压制温度是1100℃至1500℃及最大压制压力是在3000psi与7000psi间。22.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具有小于或等于100奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;在最大压制温度下,热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,此最大压制温度是至少200℃,其低于热压相同粉末(但此粉末在相同压力下且历同等时间具有至少1.0微米的主要粒子大小最大直线性因次)而产生具有至少85%最大理论密度之第一密度之标的物时可能需要之温度,及在较低压制温度下获得大于第一密度之标的物密度;及其中预反应铁电粉末包含(Srl+yBi2+z)(Tal-xNbx)2O9,其中x是0.0至1.0,y是-0.5至0.5,而z是0.0至0.8及最大压制温度系小于或等于1100℃。23.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包括:定位预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具有小于或等于100奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;在最大压制温度下,热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,此最大压制温度是至少200℃,其低于热压相同粉末(但此粉末在相同压力下且历同等时间具有至少1.0微米的主要粒子大小最大直线性因次)而产生具有至少85%最大理论密度之第一密度之标的物时可能需要之温度,及在较低压制温度下获得大于第一密度之标的物密度;及其中预反应铁电粉末包含(Srl+yBi2+z)(Tal-xNbx)2O9,其中x是0.0至1.0,y是-0.5至0.5,而z是0.0至0.8,最大压制温度是700℃至1100℃及最大压制压力系在3000psi与7000psi间。24.如申请专利范围第20项之方法,其中粉末主要包含预反应铁电粒子,其具有10奈米至50奈米之最大直线性因次。25.如申请专利范围第20项之方法,其中粉末包含至少90%预反应铁电粒子,其具有10奈米至50奈米之最大直线性因次。26.一种铁电物理气相沉积标的物,其包含小于或等于1.0微米之主要颗粒大小,及具有至少95%最大理论密度之密度,且其主要包含(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3,其中x是0.3至0.7,y是0.05至0.15,而z是0.0至0.05。27.一种铁电物理气相沉积标的物,其包含小于或等于1.0微米之主要颗粒大小,及具有至少95%最大理论密度之密度,且其主要包含(Srl+yBi2+z)(Tal-xNbx)2O9,其中x是0.0至1.0,y是-0.5至0.5,而z是0.0至0.8。28.一种铁电物理气相沉积标的物,其包含小于或等于1.0微米之主要颗粒大小,及具有至少95%最大理论密度之密度,且其主要包含(Srl+yBi2+z)(Tal-xNbx)2O9,其中x是0.3至0.7,y是-0.3至0.3,而z是0.3至0.6。29.一种铁电陶瓷组合物,其包含小于或等于1.0微米之主要颗粒大小,及具有至少95%最大理论密度之密度,且其主要包含(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3,其中x是0.3至0.7,y是0.05至0.15,而z是0.0至0.05。30.一种铁电陶瓷组合物,其包含小于或等于1.0微米之主要颗粒大小,及具有至少95%最大理论密度之密度,且其主要包含(Srl+yBi2+z)(Tal-x Nbx)2O9其中x是0.0至1.0,y是 -0.5至0.5,而z是0.0至0.8。31.一种铁电陶瓷组合物,其包含小于或等于1.0微米之主要颗粒大小,及具有至少95%最大理论密度之密度,且其主要包含(Srl+yBi2+z)(Tal-x Nbx)2O9,其中x是0.3至0.7,y是-0.3至0.3,而z是0.3至0.6。32.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包含:定位含多晶相之预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末包含(Bal-xSrx)TiO3,其中x是0.0至1.0,预反应铁电粉末主要包含具小于或等于100奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子,其中包含于预反应铁电粉末之多晶相包括(Bal-x Srx)TiO3之晶相;及热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,其具有至少95%最大理论密度之密度与低于或等于1.0微米之主要最大颗粒大小。33.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包含:定位含多晶相之预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末包含(Bal-xSrx)TiO3,其中x是0.3至0.7,预反应铁电粉末主要包含具小于或等于100奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子,其中包含于预反应铁电粉末之多晶相包括(Bal-x Srx)TiO3之晶相;及热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,其具有至少95%最大理论密度之密度与低于或等于1.0微米之主要最大颗粒大小。34.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包含:定位含多晶相之预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末包含(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3,其中x是0.0至1.0,y是0.0至0.2,而z是0.0至0.1;预反应铁电粉末主要包含具小于或等于100奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子,且其中包含于预反应铁电粉末之多晶相包括(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3之晶相;及热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,其具有至少95%最大理论密度之密度与低于或等于1.0微米之主要最大颗粒大小。35.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包含:定位含多晶相之预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具小于或等于100奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子,其中预反应铁电粉末包含钛酸钡锶、钛酸铅锆,及钽酸锶铋(其具有总量达10at%的镧、钙、铌、锶及铋之一或多种掺杂元素)之一,且其中包含于预反应铁电粉末之多晶相包括钛酸钡锶、钛酸铅锆,及钽酸锶铋之一之晶相;及热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,其具有至少95%最大理论密度之密度与低于或等于1.0微米之主要最大颗粒大小。36.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包含:定位含多晶相之预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具小于或等于100奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子,其中预反应铁电粉末包含钛酸钡锶、钛酸铅锆,及钽酸锶铋(其具有总量达2.0at%至5.0at%的镧、钙、铌、锶及铋之一或多种掺杂元素)之一,且其中包含于预反应铁电粉末之多晶相包括钛酸钡锶、钛酸铅锆,及钽酸锶铋之一之晶相;及热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,其具有至少95%最大理论密度之密度与低于或等于1.0微米之主要最大颗粒大小。37.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包含:定位含多晶相之预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末包含(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3,其中x是0.0至1.0,y是0.0至0.2,而z是0.0至0.1,该预反应铁电粉末主要包含具10奈米至50奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子,其中包含于预反应铁电粉末之多晶相包括(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3之晶相;及热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,其具有至少99%最大理论密度之密度与且其至少90%的颗粒具有低于或等于1.0微米之最大颗粒大小。38.一种制造铁电物理气相沉积标的物之方法,其包含:定位含多晶相之预反应铁电粉末在热压机模槽中,该预反应铁电粉末主要包含具小于或等于100奈米之最大直线性因次之个别预反应铁电粒子;及在小于或等于1500℃之最大压制温度下,热压预反应铁电粉末在模槽内而形成所需形状之物理气相沉积标的物,此最大压制温度是至少200℃且低于热压相同粉末(但此粉末在相同压力下且历同等时间具有至少1.0微米的主要粒子大小最大直线性因次)而产生具有至少85%最大理论密度之第一密度之标的物时可能需要之温度,及在较低压制温度下获得大于第一密度之标的物密度。39.如申请专利范围第38项之方法,其中预反应铁电粉末包含(Bal-xSrx)TiO3,其中x是0.0至1.0;且其中包含于预反应铁电粉末之多晶相包括(Bal-xSrx)TiO3之晶相。40.如申请专利范围第38项之方法,其中预反应铁电粉末包含(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3,其中x是0.0至1.0,y是0.0至0.2,而z是0.0至0.1;且其中包含于预反应铁电粉末之多晶相包括(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3之晶相且最大压制温度系低于或等于1100℃。41.如申请专利范围第38项之方法,其中预反应铁电粉末包含(Pbl+yLaz)(Zrl+xTix)O3,其中x是0.0至1.0,y是0.0至0.2,而z是0.0至0.1;且其中包含于预反应铁电粉末之多晶相,包括(Pbl+yLaz)(Zrl-xTix)O3之晶相,且最大压制温度系800℃至1100℃而最大压制压力系在3000psi至7000psi间。图式简单说明:图1是依照本发明的方法观点,例示之较佳处理,压力和温度乃时间之绘图。图2是依照本发明之只一个观点,经黏附至支撑板上之物理气相沉积标的物之示意截面图。 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