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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR CATHODIC SPUTTERING
摘要
申请公布号 EP0946965(A1) 申请公布日期 1999.10.06
申请号 EP19970953900 申请日期 1997.12.22
申请人 SINGULUS TECHNOLOGIES AG 发明人 SICHMANN, EGGO;MUECKE, MICHAEL;BECKER, WOLFGANG;TRUCKENMUELLER, KLAUS
分类号 C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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