发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR ELEMENT AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11102922(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970262073 申请日期 1997.09.26
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAMOTO SHINSUKE
分类号 H01L29/872;H01L21/22;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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