发明名称 REACTION FURNACE
摘要
申请公布号 JPH11102872(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970279478 申请日期 1997.09.26
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 TANABE MITSUAKI;INOKUCHI YASUHIRO
分类号 H01L21/22;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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