形成图案的方法和装置、器件和电子装置

摘要

一种在基片上形成图案的方法，包括步骤：将来自具有喷嘴的喷射头的液滴喷射到基准板上，在所述基准板上限定多个目标位置，目标位置被设置在至少一行中；检测目标位置和液滴实际着陆的位置之间的位移量；基于所述位移量，对至少一行的目标位置的每一个确定相对于喷射头的相对位置误差；基于所述相对位置误差对至少一行的每一个的确定校正值；并当将液滴喷射到基片上时，基于所述校正值顺序改变基片和喷射头的相对位置。

主权项

1.一种在基片上形成图案的方法，包括步骤：从具有喷嘴的喷射头将液滴喷射到基准板上，在所述基准板上限定多个目标位置，所述目标位置被设置在至少一行中；检测所述目标位置与液滴实际着陆的位置之间的位移量；基于所述位移量，对至少一行的目标位置的每一个确定相对于喷射头的相对位置误差；基于所述相对位置误差对于至少一行的每一个确定校正值；并当将液滴喷射到基片上时，基于所述校正值顺序改变基片和喷射头的相对位置。