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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10163324(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960320016 申请日期 1996.11.29
申请人 SONY CORP 发明人 YOSHIHARA SHUICHI
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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