| 发明名称 |
METHOD FOR DEPOSITING III-V SEMICONDUCTOR LAYERS ON A NON-III-V SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1459362(A2) |
申请公布日期 |
2004.09.22 |
| 申请号 |
EP20020790389 |
申请日期 |
2002.11.16 |
| 申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
JUERGENSEN, HOLGER;KROST, ALOIS;DADGAR, ARMIN |
| 分类号 |
C30B23/02;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/20;H01L33/00;H01L21/762 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
