发明名称 DISPOSITIVO DI ALLINEAMENTO.
摘要
申请公布号 ITTO20030836(A1) 申请公布日期 2004.04.25
申请号 IT2003TO00836 申请日期 2003.10.23
申请人 LINTEC CORPORATION 发明人 KUROKAWA SHUJI
分类号 B23Q17/24;B23Q1/52;B23Q3/18;H01L21/00;H01L21/68;H01L21/683 主分类号 B23Q17/24
代理机构 代理人
主权项
地址