STEP SCANNING TECHNIQUE FOR INTERFEROMETER.

摘要

Méthode rapide et efficace de détermination quantitative par étapes d'une position relative à l'aide d'un intervalle de référence. Chaque étape de la position relative comporte des intervalles de commande à boucle ouverte et à boucle fermée. Sont décrits un actuateur (27) capable de modifier la position relative et une servocommande (17) à boucle fermée qui agit sur l'actuateur (27) de manière à garder la position relative centrée sur la valeur la plus proche d'une série de valeurs de référence. La servocommande (17) verrouille la position par rapport à une valeur de référence initiale donnée. On fait tout d'abord en sorte que l'actuateur (27) modifie la position relative d'une quantité à peu prés égale à l'intervalle de référence de façon que la servocommande (17) ne puisse détecter le changement, par exemple en désactivant la servocommande (17). La servocommande est alors réactivée, ce qui lui permet alors de garder la position relative centrée sur la valeur de référence la plus proche.