| 主权项 |
1.一种制造物理蒸气析出的蒸镀源的方法,该蒸镀源由一靶及一个背板构成,该靶除了一种或数种其他成分外还含有一种铝成分,该背板与该靶连接,且材料比该靶的导热性好,其中该靶利用粉末状的个别成分的混合物作冷加压然在该个别的成分的熔点以下的温度在渗透的情形下成形宜到达到理论密度的至少98%为止而制成,其特征在于:该背板同样地用粉末形式的起始材料与该靶成分在上下成层的分段中加压然后成形。2.如申请专利范围第1项的制造物理蒸气析出的蒸镀源的方法,其中:该靶由至少15%原子的铝构成。3.如申请专利范围第2项的制造物理蒸气析出的蒸镀源的方法,其中:该靶含有85%原子的钛作为第二成分。4.如申请专利范围第1或第2项的制造物理蒸气析出的蒸镀源的方法,其中:使用铝当作该背板的材料。5.如申请专利范围第1或第2项的制造物理蒸气析出的蒸镀源的方法,其中:该成形作业系藉着在锻压机中作锻压而达成。6.如申请专利范围第3项的制造物理蒸气析出的蒸镀源的方法,其中:该成形作业系藉着在锻压机中在400 ~ 450℃之间的温度作锻压而达成。7.如申请专利范围第1或第2项的制造物理蒸气析出的蒸镀源的方法,其中:该成形作业藉连续压制而达成。8.如申请专利范围第3项的制造物理蒸气析出的蒸镀源的方法,其中:该成形作业系藉连续压制在400~450℃之间的温度达成。图式简单说明:第1图系依本发明的溅渡靶材料与背板材料间的过渡的组织图(100X)。 |
