发明名称 METHODS AND REACTORS FOR FORMING SUPERCONDUCTOR LAYERS
摘要 Superconductor reactors, methods and systems are disclosed.
申请公布号 KR20040043173(A) 申请公布日期 2004.05.22
申请号 KR20047001533 申请日期 2002.07.30
申请人 发明人
分类号 C01G3/00;H01L39/12;C01G1/00;C04B35/45;C23C8/02;C30B7/00;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01G3/00
代理机构 代理人
主权项
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