Kapazitive mikrobearbeitete Ultraschalltransducer und Verfahren zur Herstellung derselben

摘要

Es wird ein Verfahren zum Herstellen einer kapazitiven mikrobearbeiteten Ultraschalltransducerzelle geschaffen. Das Verfahren enthält das Bereitstellen eines Trägersubstrates (10), wobei das Trägersubstrat (10) Glas enthält. Der Schritt des Bereitstellens des Glassubstrats kann das Ausbilden von Durchkontaktierungen (171) in dem Glassubstrat enthalten. Ferner enthält das Verfahren das Bereitstellen einer Membran (14) in der Weise, dass das Trägersubstrat (10) und/oder die Membran (14) Tragstützen (12) aufweisen, wobei die Tragstützen (12) zum Festlegen der Tiefe eines Hohlraums eingerichtet sind. Das Verfahren enthält weiterhin das Bonden der Membran an das Trägersubstrat unter Verwendung der Tragstützen, wobei das Trägersubstrat, die Membran und die Tragstützen (12) einen akustischen Hohlraum bilden.