| 发明名称 |
ELECTROSTATIC CHUCK WITH POLYMER PROTRUSIONS |
| 摘要 |
본 발명의 실시예에 따르면, 정전 척이 제공된다. 정전 척은 기판을 정전 척에 정전 클램핑 하기 위한 전하를 형성하기 위해 전극의 전압에 의해 활성화되는 표면층을 포함한다. 표면층은 다수의 중합체 돌기들 및 이들이 부착되는 전하 제어층을 포함하고, 다수의 돌기들은 기판의 정전 클램핑 동안 기판을 돌기들 상에 지지하는 다수의 돌기들을 둘러싸는 전하 제어층의 일부분들 위의 높이까지 연장된다. |
| 申请公布号 |
KR101680787(B1) |
申请公布日期 |
2016.11.29 |
| 申请号 |
KR20117026770 |
申请日期 |
2010.05.13 |
| 申请人 |
엔테그리스, 아이엔씨. |
发明人 |
쿡 리차드 에이;리차드 네이트;도넬 스티븐;보스 마크;리우 얀 |
| 分类号 |
H01L21/683;B23Q3/15;H01L21/687;H02N13/00 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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