发明名称 |
APPARATUS FOR PROCESSING SEMICONDUCTORS WAFERS OR THE LIKE |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2169443(B) |
申请公布日期 |
1989.07.12 |
申请号 |
GB19850030304 |
申请日期 |
1985.12.09 |
申请人 |
* ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS AMERICA INC |
发明人 |
GEORGE MARTIN * ENGLE;RICHARD STEPHEN * ROSLER |
分类号 |
H01L21/205;B05C13/02;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/673 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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