| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0748199(A) |
申请公布日期 |
1995.02.21 |
| 申请号 |
JP19930214888 |
申请日期 |
1993.08.06 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
MURATA KOICHI;ISHIHARA TOMOYUKI |
| 分类号 |
C30B11/14;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/40 |
主分类号 |
C30B11/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
