具有多重连接装置机械手的系统和校正多重连接装置机械手中位置及旋转对准的方法

摘要

在此提供校正多重连结机械手中的旋转及线性偏差的方法。所述方法通过校正位置及旋转定向误差两者，允许终端受动器的精确定向，以于目标目的地取放基板。所述方法旋转吊杆连接装置至与所述目标目的地邻近的位置，通过旋转吊杆连接装置以及上臂连结件并延伸或收回腕部构件，来校正线性及旋转误差。在此披露包括长吊杆连接装置的系统，并提供多种其他方面。

主权项

一种校正机械手中的偏差的方法，所述方法包含以下步骤：提供机械手设备，所述机械手设备具有吊杆连接装置、上臂连结件、前臂连结件、腕部构件和终端受动器，所述上臂连结件耦接至所述吊杆连接装置，所述前臂连结件耦接至所述上臂连结件，所述腕部构件耦接至所述前臂连结件，并且所述终端受动器耦接至所述腕部构件；将所述吊杆连接装置定位于与目标地点邻近的地点；将所述终端受动器平移至接近所述目标地点；确定偏移的程度；至少部分地通过所述吊杆连接装置的旋转，来校正线性位置偏差；和通过绕机身中段轴—起扫掠所述上臂连结件、所述前臂连结件及所述腕部构件，来校正旋转偏差；其中，所述一起扫掠牵涉在所述上臂连结件、所述前臂连结件及所述腕部构件的任一者之间没有相对旋转。