发明名称 THIN FILM CAPACITOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0387055(A) 申请公布日期 1991.04.11
申请号 JP19890226030 申请日期 1989.08.30
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUBARA SHOGO;MIYASAKA YOICHI
分类号 H01G4/005;H01G4/008;H01G4/06;H01G4/33;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01G4/005
代理机构 代理人
主权项
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