发明名称 |
THIN FILM CAPACITOR AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0387055(A) |
申请公布日期 |
1991.04.11 |
申请号 |
JP19890226030 |
申请日期 |
1989.08.30 |
申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
MATSUBARA SHOGO;MIYASAKA YOICHI |
分类号 |
H01G4/005;H01G4/008;H01G4/06;H01G4/33;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
H01G4/005 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|