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经营范围
发明名称
PROCESS FOR FORMING SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号
EP0519079(B1)
申请公布日期
1999.03.03
申请号
EP19920901439
申请日期
1991.12.19
申请人
FUJITSU LIMITED;FUJITSU VLSI LIMITED
发明人
TSUKUNE, ATSUHIRO;FURUMURA, YUJI;HATANAKA, MASANOBU
分类号
H01L21/312;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/312;C23C16/56
主分类号
H01L21/312
代理机构
代理人
主权项
地址
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