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发明名称 METHOD OF PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号 EP0933803(A4) 申请公布日期 1999.10.20
申请号 EP19970912458 申请日期 1997.11.14
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 AKAHORI, TAKASHI;NAKASE, RISA;OKA, SHINSUKE
分类号 H01L21/302;C23C16/44;C23C16/511;C23C16/52;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31;C23C16/50 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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