不对称的薄膜晶体管结构

摘要

本发明提供一种不对称的薄膜晶体管结构，其包含有一衬底，一半导体层以及一栅极分别设于该衬底上。该半导体层包含有一第一轻掺杂区以及一第一重掺杂区设于该栅极的一侧，一第二轻掺杂区以及一第二重掺杂区设于该栅极的另一侧。该第一轻掺杂区与该第一重掺杂区之间包含有一第一界面，该第二轻掺杂区与该第二重掺杂区之间包含有一第二界面，且其中该第一界面与其邻近的一第一栅极侧壁间的间距与该第二界面与其邻近的一第二栅极侧壁间的间距不相等。

主权项

1.一种不对称的薄膜晶体管结构，其包含有：一衬底；一半导体层设于该衬底上，该半导体层包含有一沟道区，一第一轻掺杂区以及一第一重掺杂区设于该沟道区的一侧，一第二轻掺杂区以及一第二重掺杂区设于该沟道区的另一侧，且其中该第一轻掺杂区与该第一重掺杂区之间包含有一第一界面，该第二轻掺杂区与该第二重掺杂区之间包含有一第二界面；以及一栅极设于该衬底上，该栅极包含有一第一侧壁以及一第二侧壁，且其中该第一侧壁与该第一界面间的间距与该第二侧壁与该第二界面间的间距不相等。