喷墨记录头用基体的制造方法和记录头的制造方法

摘要

提供一种喷墨记录头用基体的制造方法和记录头的制造方法，用来形成更均匀的发热电阻层。该喷墨记录头周基体具有：表面上有绝缘层的支撑体、配置在该支撑体的上述表面上的一对电极层、以及连续地覆盖该一对电极层和它们之间的发热电阻层，其制造方法包括：在上述支撑体上形成电极层的工序；以及通过刻蚀上述电极层，形成上述一对电极层的工序，在形成上述一对电极层的工序中，对位于上述绝缘层的上述一对电极层之间的表面部分进行刻蚀，在上述绝缘层的该部分上形成凹部。

主权项

1、一种喷墨记录头用基体的制造方法，该喷墨记录头用基体具有：绝缘层、配置在该绝缘层的上述表面上的一对电极层、以及连续地覆盖该一对电极层和该一对电极层之间部分的发热电阻层，该制造方法的特征在于包括：在上述绝缘层上形成电极层的工序、通过刻蚀上述电极层形成上述一对电极层的工序，在该工序中，刻蚀上述绝缘层的位于上述一对电极层之间的表面部分，在上述绝缘层的该部分上形成凹部、以及在上述一对电极层上和该一对电极层之间上形成发热电阻层的工序。