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发明名称 METHOD OF CHECKING SEMICONDUCTOR MATERIAL QUALITY
摘要
申请公布号 SU1118238(A1) 申请公布日期 1986.01.30
申请号 SU19833595077 申请日期 1983.05.20
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM.A.F.IOFFE 发明人 VITOVSKIJ N.A.,SU;EMELYANENKO O.V.,SU;LAGUNOVA T.S.,SU;MASHOVETS T.V.,SU;RAKHIMOV O.,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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