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发明名称 Verfahren zum Kurzzeittempern einer Halbleiterscheibe durch Bestrahlung
摘要
申请公布号 DE59209959(D1) 申请公布日期 2002.07.18
申请号 DE19925009959 申请日期 1992.03.19
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KAKOSCHKE, DR. RER. NAT.
分类号 H01L21/00;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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